:提高铸锭单晶的收益,不得不考虑以下几点

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准单晶主要面临两个问题:位错和单晶率。

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准单晶主要面临两个问题:位错和单晶率。

主要以技术工艺角度来阐述,不涉及设备,希望给同仁们如何降低位错的得高单晶率带来一定思考

1、位错主要来源籽晶隐性裂纹,在长晶过程中会放大

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为规避装料过程的挤压带来隐性损伤及裂纹,可以采用双层籽晶的形式。多加一层可以是多晶的,最下面籽晶层一定是单晶硅,融化过程直接融到引晶层。在这个基础上长晶就可以了。

2.坩锅侧壁杂质和凹凸不平点形成多晶核,两种方案来应对

第一、近坩埚壁侧用小籽晶块的形式,主要是把形成的多晶硅通过长晶位错的形式档在外边。

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第二,现有的坩埚表面的光洁度不够,可以建议抛光打磨处理,避免因表面颗粒易造成多晶成核。

3.界面一定要保持凸形,带来的好处有二

第一:从中心长晶的好处,中心单晶率较高,从中心往四周长基本上会长出单晶来,收益和良率都会得到保证。

第二减小和规避因侧壁或者坩埚壁的凹凸点和小杂质点形成多晶核,导致在多晶基础上长晶,必然多晶率增加。

4.坩埚形状

因长方形坩埚原因,坩埚边极其容易形式多晶。所以使用圆形坩埚是极好的,如果还想提高单晶质量,最好使用圆底或者菱形底坩埚。

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5.长晶速率及其它参数一定不要参考多晶硅

第一多晶硅的长晶速率1.5-2.3mm/min范围内,而单晶硅的长晶速率1-1.3mm/min,很多搞准单晶都是多晶出身,相当然参考多晶硅的速率,有点不靠谱。

第二单晶硅人员搞准单晶都比铸锭人员自己搞准单晶经验更有用一些。

第三长晶速率慢是极好的

做到以上几点得率能到60%以上。

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